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全自动气架
ST 6300 全自动气瓶架适用于惰性气体和可燃性（开放式环境下）、无腐蚀性、无毒性的高纯气体的供应系统，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。
ST 6300 全自动气架通过采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对惰性气体连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
适合气体： 惰性气体 诸如 Ar,N2,He 等。
适用行业： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED、研究所，高校实验室等。 |
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