|
地址：上海市奉贤区平庄东路2858号临港智造园9期11幢
电话：021－68139136
电话：021－20929308
传真：021－20929316
邮件：jinhua.xu@suntochina.com
网站：http://www.suntochina.com |
|
|
半自动双瓶GC
ST8220 半自动双瓶GC是一个半自动供应系统,专为供应的易燃易爆、腐蚀性、毒性和其他有害气体,其基本功能包括手动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。ST8220半自动气柜通过采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
适合气体： 易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3,
NH3, N2O, HCl等。
适用行业：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED、研究所，高校实验室等。 |
 |
|
|
|
