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手动面板
GP（Gas Panel）的一般目地是从高压气体钢瓶中将高压工艺气体调整到一个客户要求的压力使用点。这就允许用户降低压力并传递到过程工具中。通过执行正确的循环吹扫净化程序，这就使得空的钢瓶可以不断安全的变化着。
STP100 气体面板有可与其他控制器结合使用的扩展功能，通过使用控制器和多气源的自动切换功能从空钢瓶到满气钢瓶的安全操作是可以实现的。在系统处于紧急状态下，控制器上的紧急停止按钮可以总体关闭系统。
气体面板适合于与多种气体组合使用。
适合气体： 惰性气体 诸如 Ar,N2,He 等。
适用行业： 研究所，高校实验室等。 |
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