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半自动VMB
VMB阀门分配箱（Valve Manifold Box），是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。
VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
ST2200 VMB通过采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对高纯介质的连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
适用气体： 易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3,
NH3, N2O, HCl等。
适用行业： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所，高校实验室等。 |
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